Þurrar vélrænar tómarúmdælur hafa mikið úrval af notkunum, fyrst og fremst á eftirfarandi sviðum:
Í pólýkísil undirbúningsferlinu innan lágþrýstingsefnafræðilegrar gufuútfellingar (LPCVD) kerfa;
Í hálfleiðara ætingarferlum. Þessir framleiðsluferli fela oft í sér notkun eða myndun ætandi lofttegunda og slípiefna;
Í ákveðnum -myndunarferlum-utan hálfleiðaraiðnaðarins-þar sem óæskilegt er að agnir blandist dæluolíu og þess í stað æskilegt að þær séu reknar úr dælunni; Hægt er að nota sérstakar gerðir af þurrum vélrænum tómarúmdælum til að uppfylla þessar kröfur;
Í eimingu, þurrkun, afgasun og pökkunaraðgerðum innan efna-, lyfja- og matvælaiðnaðarins, þar sem nauðsynlegt er að koma í veg fyrir mengun af lífrænum leysum, eru þurr lofttæmisdælur hentugur kostur;
Eins og áður-dælur (grófdælur) í almennum olíu-lausum hreinum lofttæmiskerfum, til að koma í veg fyrir olíumengun.
